F00900 - SEMI F9 - Test Method to Determine the Leakage Characteristics of Tube Fitting Connections Made of Fluorocarbon Materials, When Subjected to a Side Load Condition Revision:SEMI F9-0998 - Inactive この仕様は主に半導体処理装置に的を絞り，下記の装置型を含むが，それに限定されるものではない。

この仕様は主に半導体処理装置に的を絞り，下記の装置型を含むが，それに限定されるものではない。

SEMI M80 — Specification for Front-Opening Shipping Box Used to Transport and Ship 450 mm Wafers

このスタンダードは，例外エージェントによって決定者に対する，アラームを含む例外条件の報告をサポートする。例外エージェントは，同様にそれぞれの例外条件の報告を可能にしたり，不可にしたりする機能を持っている。

common criteria for incoming quality control (IQC) and outgoing quality control (OQC) of outsourced subassembly and test (OSAT) are needed

F00900 - SEMI F9 - Test Method to Determine the Leakage Characteristics of Tube Fitting Connections Made of Fluorocarbon Materials, When Subjected to a Side Load Condition Revision:SEMI F9-0998 - Inactive この仕様は主に半導体処理装置に的を絞り，下記の装置型を含むが，それに限定されるものではない。NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. This method provides a uniform procedure to determine the leakage characteristics of tube fitting connections made of fluorocarbon materials, when subjected to side loading. This method can be used to characterize tube