E17400 - SEMI E174 - Specification for Wafer Job Management (WJM) Revision:SEMI E174-0817 - Superseded · Chillers and cryo pumps

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22 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Vacuum Pressure Gauge

本仕様はSEMIセンサ／アクチュエータ・ネットワーク（SAN）スタンダード・グループの一部であり，CC-Linkスタンダードに基づいた独自の通信プロトコルを規定するものである。本ネットワーク通信スタンダード（NCS）は，明らかにSEMI SANおよびCC-Linkスタンダード全部で一つのオープン・スタンダードを完璧にそして明白に定義している。そのスタンダードは半導体製造装置内でネットワーク化されたデバイスに標準仕様として相互運用性を持たせるための業界独自の方法を提供することになる。

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E17400 - SEMI E174 - Specification for Wafer Job Management (WJM) Revision:SEMI E174-0817 - Superseded · Chillers and cryo pumpsThe purpose of this Standard is to provide a communication method which observes and or controls every single wafer (including its related information) on equipment individually (and independently rather than a member of a lot) through single management point from the host. The purpose of this Standard is to introduce Wafer Job (WJ) in order to observe and or control a wafer (and its information including context information from related actions such